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研究了硫酸/盐酸比例、温度和Al^3+含量对高纯铝箔隧道孔生长的影响，发现随着硫酸浓度增加，温度对隧道．孔极限长度和孔径的影响减小，在本文条件下隧道孔生长的临界温度最低可降低到35℃。在电解液中一定含量的Al^3+可以避免铝箔表面形成大孔，从而改善隧道孔分布均匀性。
硫酸/盐酸比例和Al^3+含量对铝箔隧道孔生长的影响
【摘 要】
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研究了硫酸/盐酸比例、温度和Al^3+含量对高纯铝箔隧道孔生长的影响，发现随着硫酸浓度增加，温度对隧道．孔极限长度和孔径的影响减小，在本文条件下隧道孔生长的临界温度最低可降低
【机 构】
：
四川大学化工机械系,江苏中联科技集团
【出 处】
：
电子元件与材料
【发表日期】
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2003年10期
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