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介绍了硅片的研磨过程和研磨液的作用，对国内主流研磨液进行了简单的介绍，分析了它们的优缺点。对研磨液中活性剂的机理进行了深入研究、解释了活性剂的分子结构对其性质的影响，提出只有从分子结构入手选用活性剂才能起到更好的悬浮和降低表面张力的作用。
硅片研磨和研磨液作用的分析
【摘 要】
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介绍了硅片的研磨过程和研磨液的作用，对国内主流研磨液进行了简单的介绍，分析了它们的优缺点。对研磨液中活性剂的机理进行了深入研究、解释了活性剂的分子结构对其性质的影响
【机 构】
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河北工业大学微电子研究所
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2007年4期
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