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离子体与NiTi合金材料表面相互作用可以改变材料表面的特性，在工程技术、生物医学等方面有很高的应用价值。氧离子作为注入剂注入后，在NiTi合金材料表面形成TiO2膜，薄膜与基体材料之间的晶格错配，热力学等参数失配引起薄膜与基体间的界面上出现残余应力。文中用云纹干涉与钻孔法相结合测量了NiTi合金表面氧离子注入后所产生的残余应力，探讨了退火处理对残余应力的影响。