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文章综述了扫描探针刻蚀技术的最新研究进展，并介绍了扫描探针刻蚀加工机理。
扫描探针刻蚀技术的机理分析及进展
【摘 要】
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文章综述了扫描探针刻蚀技术的最新研究进展，并介绍了扫描探针刻蚀加工机理。
【机 构】
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江苏大学机械学院微纳米技术研究中心,浙江师范大学
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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2006年1期
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