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气垫导轨上空气膜厚度的测定
气垫导轨上空气膜厚度的测定
来源 :重庆工商大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:rudy_luo
【摘 要】
:
针对气垫导轨装置的重要参数——气垫厚度进行测定分析,利用光杠杆系统测量微小长度变化的方法,测量滑块和气垫导轨之间的空气膜厚度,并对可能产生的测量误差进行分析、讨论;测量
【作 者】
:
陈刚
【机 构】
:
重庆工商大学计算机科学与信息工程学院
【出 处】
:
重庆工商大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
2008年1期
【关键词】
:
气垫导轨
光杠杆测量系统
空气膜
厚度
测量误差
air track
optical lever measurement system
air film
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针对气垫导轨装置的重要参数——气垫厚度进行测定分析,利用光杠杆系统测量微小长度变化的方法,测量滑块和气垫导轨之间的空气膜厚度,并对可能产生的测量误差进行分析、讨论;测量结果显示:在通常情况下其厚度大致在150μm左右,与相关的技术指标相符。
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