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提出一种新的硅片电阻率均匀性测量方法．介绍了电阻率测量系统的各部分构成，主要包括多路选择开关、恒流源以及A／D转换电路．系统以单片机为核心，控制测量过程，并将采集到的数据传给上位机．给出了模数转换控制芯片AD7715的主要参数，设计了初始化及读数据流程图．描述了AD7715在测量系统中的电路连接．该系统具有精度高，恒流源可调等特点．最后简要介绍了一种成像方法，对测量结果进行了讨论．