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讨论了极紫外投影光刻掩模的反射光谱随多层膜参量的变化，通过曲线拟舍得到了峰值反射率、带宽和中心波长与多层膜粗糙度、材料比值以及周期厚度的9个函数关系．模拟了6镜极紫外投影光刻系统的反射光谱，并计算了晶圆片处的相时照明强度．分析了由掩模在晶圆片处引入的照明误差，给出了照明误差的合成公式．
极紫外投影光刻掩模的多层膜与照明误差
【摘 要】
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讨论了极紫外投影光刻掩模的反射光谱随多层膜参量的变化，通过曲线拟舍得到了峰值反射率、带宽和中心波长与多层膜粗糙度、材料比值以及周期厚度的9个函数关系．模拟了6镜极紫外
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院研究生院
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2006年5期
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