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实现了基于圆缺陷模型的蒙特卡洛关键面积及成品率估计，模拟了圆缺陷模型估计的成品率误差与缺陷的矩形度之间的关系，提出了更具有一般性的两种集成电路成品率模型，它们分别对应于矩形度相同和不同的缺陷．仿真结果表明该模型为成品率的精确表征提供了新途径．
考虑缺陷形状分布的IC成品率模型
【摘 要】
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实现了基于圆缺陷模型的蒙特卡洛关键面积及成品率估计，模拟了圆缺陷模型估计的成品率误差与缺陷的矩形度之间的关系，提出了更具有一般性的两种集成电路成品率模型，它们分别对应
【机 构】
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西安电子科技大学微电子研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2005年5期
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