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超精密工作平台已经成为IC和MEMS等行业完成加工、测量工作的基本设备平台。如何提高平台测量系统的精度,从而提高平台的定位精度是目前超精密工作平台所面临的一大难题。对现有的超精密工作平台的基本结构以及常见的精密测量系统进行了综合分析,详细介绍了一种新型的测量装置———平面编码器的工作原理。
超精密定位平台的测量系统研究
【摘 要】
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超精密工作平台已经成为IC和MEMS等行业完成加工、测量工作的基本设备平台。如何提高平台测量系统的精度,从而提高平台的定位精度是目前超精密工作平台所面临的一大难题。对现有的超精密工作平台的基本结构以及常见的精密测量系统进行了综合分析,详细介绍了一种新型的测量装置———平面编码器的工作原理。
【机 构】
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浙江大学现代制造工程研究所
【出 处】
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机电工程
【发表日期】
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2006年04期
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