本土设备商,别让“小毛病”砸了招牌

来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huwei00
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近两年本土设备商的技术能力取得了长足进步,尤其在产业化方面更是有了突破性进展,可喜可贺。但随着国内主流生产线上本土设备的出现,设备的可靠性、配套工艺的成熟度等正在经受远超先前试验室阶段的考验。暴露出的工艺不稳定、服务能力跟不上等软性问题解决能力,如果不能尽快得到提升,那对真正树立起本土设备的招牌是很不利的。
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