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石墨加热器作为多晶硅铸锭工艺中的热源,它的尺寸和位置直接影响了多晶硅晶体生长过程中的温度分布和固液界面。通过对顶加热器、侧加热器以及顶-侧加热器三种不同的加热器的热场模拟研究,计算结果表明:目前采用的顶-侧加热器在多晶硅熔融和晶体生长过程中能够获得较好的效率和固液界面。
多晶硅定向凝固工艺中石墨加热器的影响
【摘 要】
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石墨加热器作为多晶硅铸锭工艺中的热源,它的尺寸和位置直接影响了多晶硅晶体生长过程中的温度分布和固液界面。通过对顶加热器、侧加热器以及顶-侧加热器三种不同的加热器的
【机 构】
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太原理工大学,中国电子科技集团第二研究所
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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2012年02期
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