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介绍了三种硅基微机械微波传输线：矩形波导、V型槽及W型槽共平面波导，及其三种传输线的制备工艺流程。分析认为，制备方法不同，导致传输线结构、特性阻抗、插入损耗等特性亦不同。
硅基微机械微波传输线的制备与特性分析
【摘 要】
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介绍了三种硅基微机械微波传输线：矩形波导、V型槽及W型槽共平面波导，及其三种传输线的制备工艺流程。分析认为，制备方法不同，导致传输线结构、特性阻抗、插入损耗等特性亦不同。
【机 构】
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华东师范大学电子科学技术系
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2001年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金，高等学校博士学科点专项科研项目，上海市应用材料研究与发展基金
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