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采用激光粒度分析仪、X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)等分析仪器研究了金属间化合物MoSi2粉体在湿法球磨过程中粉体颗粒度、晶粒尺寸和显微应变随球磨时间的变化规律。同时,探讨了湿法球磨MoSi,粉体的显微结构特点及其细化机理。结果表明,细化主要发生在球磨初期,球磨40h后细化趋于稳定,球磨100h后MoSi2未发生晶型转变,其平均晶粒尺寸为14.2nm、平均粒度为0.140μm,粒度分布曲线呈现亚微米区和纳米区共存的双峰特征,晶粒尺寸和显微应变呈现ε=17.0844D^-0.4468的逆变关