HOM系列高精度光学膜厚监控系统的研制

来源 :第十一届全国薄膜学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：auh123123

【摘要】

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叙述了新研制的适用于DWDM窄带滤光片成膜控制的高精度光学膜厚监控系统.该系统在光谱带宽0.1nm条件下,暗噪声小于±0.005℅,性能优于目前的报道.使用它已成功地实现了100GHz

【作者】

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龚健孙大雄李刚正

【机构】

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株式会社光驰(OPTORUN),日本琦玉县川越市

【出处】

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第十一届全国薄膜学术交流会

【发表日期】

：

2001年11期

【关键词】

：

镀膜光学膜厚监控 DWDM滤光片光学镀膜

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叙述了新研制的适用于DWDM窄带滤光片成膜控制的高精度光学膜厚监控系统.该系统在光谱带宽0.1nm条件下,暗噪声小于±0.005℅,性能优于目前的报道.使用它已成功地实现了100GHz,50GHz DWDM窄带滤光片全自动成膜监腔.由其派生出的HOM系列的其他类型光学膜厚监控系统,可适用于不同的优质膜的过程控制.

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