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提出了一种基于MEMS技术的差压式电容薄膜真空规设计方案。通过有限元分析软件建立了仿真模型,对感压薄膜尺寸和电极间距离进行了优化。根据优化结果,完成了真空规的研制和性能测试。测试结果表明,测量范围下限5 Pa,上限1000 Pa,灵敏度优于10 fF/Pa,测试曲线可以实现分段线性。
差压式MEMS电容薄膜真空规的设计与测试
【摘 要】
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提出了一种基于MEMS技术的差压式电容薄膜真空规设计方案。通过有限元分析软件建立了仿真模型,对感压薄膜尺寸和电极间距离进行了优化。根据优化结果,完成了真空规的研制和性
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室,厦门大学航空航天学院
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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2020年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(61627805)
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