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介绍应用离子束刻蚀技术制作的三次泛音264MHz反台晶体谐振器，制作1056MHz的温补晶体振荡器。由于晶体致薄技术的改进，突破了传统工艺晶体频率的上限，而晶体频率的提高，进一步改善了晶振的性能、体积、功耗等，简化了电路。
1056 MHz反台晶体温补振荡器
【摘 要】
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介绍应用离子束刻蚀技术制作的三次泛音264MHz反台晶体谐振器，制作1056MHz的温补晶体振荡器。由于晶体致薄技术的改进，突破了传统工艺晶体频率的上限，而晶体频率的提高，进一步改
【机 构】
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山东大学物理与微电子学院
【出 处】
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现代雷达
【发表日期】
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2007年11期
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