钛掺杂对Ge_2Sb_2Te_5薄膜相变特性的改善

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jianghui_one

【摘要】

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利用椭偏光谱术与XRD对钛掺杂Ge_2Sb_2Te_5薄膜中钛元素对体系的光学性质及其微结构的影响进行了实验研究.进而对该薄膜进行变温阻抗实验表明,钛掺杂Ge_2Sb_2Te_5薄膜与未掺

【作者】

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张颖魏慎金易歆雨程帅陈坤朱焕锋李晶吕磊

【机构】

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复旦大学光科学与工程系,上海超精密光学制造工程技术研究中心,复旦大学（教育部）微纳光子结构重点实验室,潍坊医学院医学物理系

【出处】

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红外与毫米波学报

【发表日期】

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2015年6期

【关键词】

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钛掺杂Ge2Sb2Te5薄膜相变特性热稳定性数据保持能力 Ti-doped Ge2Sb2Te5 films phase-change behavior t

【基金项目】

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Supported by Natural Science Foundation of Shanghai（13ZR1402600）, National Natural Science Foundation of China（60578047）, the National“973”Program of China（2012CB934303,2009CB929201）, Shanghai Commiss

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利用椭偏光谱术与XRD对钛掺杂Ge_2Sb_2Te_5薄膜中钛元素对体系的光学性质及其微结构的影响进行了实验研究.进而对该薄膜进行变温阻抗实验表明,钛掺杂Ge_2Sb_2Te_5薄膜与未掺杂的薄膜相比具有更好的热稳定性.基于对薄膜样品的数据保持能力测试的实验数据,经阿伦纽斯外推处理可知,钛掺杂Ge_2Sb_2Te_5薄膜样品的10年数据保持温度要高于未掺杂Ge_2Sb_2Te_5薄膜样品.本文的实验结果均证实,钛掺杂Ge_2Sb_2Te_5薄膜更适合应用于相变随机存取存储器中.

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