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硬质合金刀具上的类金刚石薄膜硬度的研究
硬质合金刀具上的类金刚石薄膜硬度的研究
来源 :硬质合金 | 被引量 : 0次 | 上传用户:strongstrongqiang
【摘 要】
:
采用射频辉光等离子体法制备了类金刚石薄膜,研究了影响类金刚石薄膜硬度的各种因素,包括:极板间距、甲烷浓度、射频功率和膜层厚度等,分析了各种生长参数对类金刚石薄膜硬度的影
【作 者】
:
谢鹏
汪建华
王传新
满卫东
王升高
熊礼威
【机 构】
:
湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,武汉工程大学材料学院
【出 处】
:
硬质合金
【发表日期】
:
2008年4期
【关键词】
:
类金刚石薄膜
射频辉光等离子体
硬度
硬质合金
diamond-like carbon films RF-PECVD hardness cemented car
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采用射频辉光等离子体法制备了类金刚石薄膜,研究了影响类金刚石薄膜硬度的各种因素,包括:极板间距、甲烷浓度、射频功率和膜层厚度等,分析了各种生长参数对类金刚石薄膜硬度的影响机理,找出了最佳的生长参数。
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