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研究了a-SiNx∶H薄膜的电导激活能与氮含量的关系。结果表明，随氮含量增加，样品表现出两种并行的电导机制：欧姆机制与Poole-Frenkel机制。采用两种电导机制拟合电流随温度变化曲线后得到了不同氮含量样品的电导激活能。由于氮在非晶硅中为施主类杂质，且具有特殊的结构组态，因而提出了一种调制掺杂模型解释了实验现象。