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振动与扫描速率综合影响SPM图像的实验研究

来源 :电子显微学报 | 被引量 : 1次 | 上传用户：caonidaye_bibibi

【摘 要】

：

探讨了外界激振对扫描探针显微镜 (SPM)图像的影响。针对DI扫描探针显微镜MultiModeTM SPM ,以Tektronix任意波形发生器AWG2 0 2 1驱动PC扬声器作为激振源 ,以SIOS微型激光干涉测振仪SP S为测振系统 ,研究了 0～ 7kHz频带内SPM机体的简谐迫振对扫描图像的影响。实验表明 ,针尖 -样品副所受激振影响不同于SPM机体 ;0～ 1kHz频带内的激振影响显著

【作 者】

：

陈津平 胡晓东 陈峰 郭彤 胡小唐 

【机 构】

：

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

【出 处】

：

电子显微学报

【发表日期】

：

2003年03期

【关键词】

：

扫描探针显微镜 SPM图像 扫描速率 外界激振 粘弹性模型 扫描频率 固有频率 针尖-样品副 external vibrationscanning probe 

【基金项目】

：

教育部科学技术基金，国家高技术研究发展计划(863计划)

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探讨了外界激振对扫描探针显微镜 (SPM)图像的影响。针对DI扫描探针显微镜MultiModeTM SPM ,以Tektronix任意波形发生器AWG2 0 2 1驱动PC扬声器作为激振源 ,以SIOS微型激光干涉测振仪SP S为测振系统 ,研究了 0～ 7kHz频带内SPM机体的简谐迫振对扫描图像的影响。实验表明 ,针尖 -样品副所受激振影响不同于SPM机体 ;0～ 1kHz频带内的激振影响显著 ,再高频段则影响甚微 ;外界激振与SPM扫描的综合作用影响成像的结果 ;针尖 -样品副的粘弹性模型是S

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