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为克服基于GMM嵌入式智能构件温升引起的热误差,文中提出了一种相变与水冷相结合的组合温控新方法。介绍了基于GMM嵌入式智能构件的相变水冷组合温控机理,并对温控结构装置进行了具体设计。采用有限元方法,建立了基于GMM嵌入式智能构件的温度场模型。对基于GMM嵌入式智能构件在有无温控装置两种状态下分别进行了稳态热分析,并进行了动态加载实验。结果表明：相变水冷组合温控方法能有效抑制温升,适合基于GMM的嵌入式智能构件进行大电流、微精密加工场合。