Si（111）衬底上生长GaN晶绳的研究

来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lonely

【摘要】

：

利用热壁化学气相沉积在Si(111)衬底上获得GaN晶绳,采用傅里叶红外吸收谱(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)、选区电子衍射(SAED)、X射线衍射(XRD)和光致发光谱(PL)对晶绳进行组成

【作者】

：

曹文田孙振翠魏芹芹薛成山王强

【机构】

：

山东师范大学半导体研究所

【出处】

：

功能材料与器件学报

【发表日期】

：

2003年4期

【关键词】

：

热壁化学气相沉积氮化镓晶绳傅里叶红外吸收谱 SEM SAED XRD 光致发光谱 hot - wall chemical vapor deposition

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

利用热壁化学气相沉积在Si(111)衬底上获得GaN晶绳,采用傅里叶红外吸收谱(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)、选区电子衍射(SAED)、X射线衍射(XRD)和光致发光谱(PL)对晶绳进行组成、结构、形貌和光学特性分析.初步结果证明:在Si(111)衬底上获得择优生长的六方纤锌矿结构的GaN晶绳.SEM显示在均匀的薄膜上出现6μm的晶绳,FTIR显示GaN薄膜的主要成分为GaN同时含有少量的C污染,由XRD和SAED的综合分析得出晶绳呈六方纤锌矿单晶结构,PL测试表明晶绳呈现不同于GaN薄膜的发光

其他文献

化学气相沉积金刚石薄膜生长的原位反射率测量

报道了化学气相沉积金刚石薄膜生长的原位反射率测量，提出了监控金刚石薄膜生长的激光反射多光束干涉的数学模型。通过原位反射率的测量，精确监控了金刚石薄膜的生长厚度,成功

期刊

CVD金刚石薄膜原位测量反射率CVDdiamond thin filmin situ measurementreflectivity

肢体皮肤撕脱伤22例的治疗体会

皮肤撕脱伤在日常生活和交通事故中并不少见，大面积皮肤撕脱伤是严重而复杂的创伤之一，常合并深部组织以及骨与关节的损伤，伤后常因大量失血而发生休克，治疗不当可致伤口感染，皮肤

期刊

皮肤撕脱伤肢体撕脱伤修复创面

十九世纪以来英国政界在食品安全领域的行为和作用综述

中国学者对食品安全的立法和监管一直比较关注,写了不少有价值的文章,但是专门写英国食品安全立法和监管的比较少.中国学界研究英国食品安全的立法和监管的目的,主要是为了从

期刊

食品安全英国安全立法综述行为中国学者中国食品监管

抗疲劳益生茶配方及功效研究

<正>随着生活节奏加快,"疲劳"和"过劳"现象极为普遍并日益受到重视。据世界卫生组织一项调查表明,全球约四分之三的人处于亚健康。疲劳作为一种生理现象,会导致人群的工作效

期刊

生茶疲劳研究四叶参中枢性疲劳过劳差错事故功效研究小鼠负重游泳存活时间白茯苓

食品营养成分受到的辐射影响

提到辐射,人们首先想到的是可怕的核弹和核辐射。但实际上,人类的核工业并非只是用来制造武器,它同样可以为人类的生活服务。1988年12月,联合国粮农组织、世界卫生组织以及国

期刊

辐射食品食品营养成分联合国粮农组织国际原子能机构生活服务辐射影响辐射剂量辐射加工鲤鱼肉鲜味氨基酸

掺杂ZrO2对（Pb,Ca）（Fe,Nb）O3陶瓷微波特性的影响

研究了 B位 Zr掺杂对 (Pb0.45Ca0.55)(Fe1/2Nb1/2)O3 (PCFN)陶瓷的烧结行为、微观结构及微波介电性能的影响。试验结果表明 ,PCFNZ陶瓷能在相对较低的温度下烧结 (12000C/2h

期刊

微波介质Q值介电常数微机结构掺杂移动通信陶瓷滤波器谐振器烧结microwave dielectric Q values dielectric

Si（111）衬底上生长GaN晶绳的研究

其他学术论文