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以氨水作为吸收剂，采用逆流洗涤及氟硅料浆强制过滤技术，依次经二氟洗涤塔、一氟洗涤塔及文丘里洗涤器吸收湿法磷酸含氟生产尾气，研究得出，最佳尾气氨洗法工艺为二氟洗涤液pH7．5，温度45％，停留时间35min，喷淋密度6．5m3／（m2．h）及空塔气速4．0m／s，该条件下，系统尾气氟化物质量浓度为6．31mg／m3，一氟洗涤塔离心滤液氟化物质量分数为11．33％，联产无水氟化氢及白炭黑转化直接经济效益1102．76万元／a。