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微机电系统的研究及应用
微机电系统的研究及应用
来源 :装备制造技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:weiluguang
【摘 要】
:
概述了微机电系统的结构和特点,介绍了饭机电系统的研究和应用领城.
【作 者】
:
DING Qun-yan
曾鑫
【机 构】
:
黄冈职业技术学院
【出 处】
:
装备制造技术
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
MEMS
微型器件系统
微执行器
集成化
【基金项目】
:
湖北省教育厅资助项目
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概述了微机电系统的结构和特点,介绍了饭机电系统的研究和应用领城.
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