论文部分内容阅读
针对微卫星所用高灵敏、低量程陀螺的需求，提出了一种高精度低量程隧道式陀螺仪的新结构，对隧道陀螺的基本组成部件进行了详细的分析，并介绍了其工作原理．设计了隧道陀螺仪的隧道电流测试方案，采用HP4156C高精度半导体参数测试仪对传感器的隧道电流效应进行了测试，并对隧道电流效应进行了理论分析，在此理论分析的基础上对测试数据进行了归纳与分析，得到器件势垒高度的值分别为0．518eV，0．555eV．验证结果表明：本结构隧道电流效应明显，器件有较高的灵敏度．