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在多元离子复合渗镀装置中，采用二元复合靶对Si3N4陶瓷表面进行Ni—Ti复合渗镀，实现了Si3N4陶瓷袁面的合金化。采用EDS、SEM、XRD分析方法和声发射划痕试验对陶瓷表面的渗镀层进行分析，结果表明：渗镀层中含有镍、钛、铁等元素，各元素分布较为均匀，没有明显的成分聚集现象；渗镀层与Si3N4陶瓷基体界面成分过渡连续，没有微观和宏观缺陷。声发射划痕试验结果表明，渗镀层与陶瓷基体结合得较好，在100N的最大载荷下，渗镀层没有出现剥离和崩落现象。