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介绍了扫描电子显微镜的原理及特点，阐述了这种检测仪器在金属材料失效分析、表面缺陷分析以及能谱分析（EDS）在微区成分分析中的用途，说明了扫描电子显微镜对金属材料科学发展的贡献。
扫描电镜对金属材料失效及表面缺陷的研究
【摘 要】
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介绍了扫描电子显微镜的原理及特点，阐述了这种检测仪器在金属材料失效分析、表面缺陷分析以及能谱分析（EDS）在微区成分分析中的用途，说明了扫描电子显微镜对金属材料科学发展的
【机 构】
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烟台市产品质量监督检验所
【出 处】
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现代制造技术与装备
【发表日期】
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2010年1期
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