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期刊论文
热激励谐振式硅微结构压力传感器
热激励谐振式硅微结构压力传感器
来源 :科学技术与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ryu_sh
【摘 要】
:
针对一种以矩形硅膜片为一次敏感元件、硅梁谐振子为二次敏感元件采用电阻热激励、压敏电阻拾振的谐振式压力微传感器,简述了其工作机理;从谐振式硅微传感器整体优化设计、闭
【作 者】
:
樊尚春
【机 构】
:
北京航空航天大学仪器学院测控与信息技术系
【出 处】
:
科学技术与工程
【发表日期】
:
2004年5期
【关键词】
:
热激励
谐振式硅微结构
压力传感器
谐振式传感器
优化设计
闭环系统
silicon micro sensorthermally excitingresonan
【基金项目】
:
国家自然科学基金,航空科研项目
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针对一种以矩形硅膜片为一次敏感元件、硅梁谐振子为二次敏感元件采用电阻热激励、压敏电阻拾振的谐振式压力微传感器,简述了其工作机理;从谐振式硅微传感器整体优化设计、闭环系统优化设计、微弱信号检测、敏感元件工艺实践、开环特性测试等方面介绍了该传感器研究与研制过程中近期取得的阶段性研究结果.
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