衬底同步加热溅射BST薄膜的研究

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tom1313

【摘要】

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介绍了一种衬底同步加热射频磁控溅射制备BST（BaxSr1-xTiO3）薄膜的新方法，讨论了BST薄膜的晶化效果对介电常数的影响，分析了薄膜的居里温度和εr-V铁电性能．XRD测试结果表明制备的

【作者】

：

张龙林立强朱健卓敏

【机构】

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南京电子器件研究所

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

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2006年05B期

【关键词】

：

同步衬底加热射频磁控溅射钛酸锶钡薄膜居里温度 ubstrate synchronous heat RF magnetoelectric sputteri

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介绍了一种衬底同步加热射频磁控溅射制备BST（BaxSr1-xTiO3）薄膜的新方法，讨论了BST薄膜的晶化效果对介电常数的影响，分析了薄膜的居里温度和εr-V铁电性能．XRD测试结果表明制备的BST薄膜具有完整的钙钛矿晶体结构，相对介电常数超过150，介质击穿强度大于1．3MV／cm．使用这种方法不需要专门的退火工艺，就可以制备晶体结构完整的高介电常数BST薄膜．

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