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介绍了MEMS的基本概念、系统结构、技术特点,并结合MEMS的发展史和制造技术,对MEMS的应用领域作了阐述.
MEMS技术的发展与应用
【摘 要】
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介绍了MEMS的基本概念、系统结构、技术特点,并结合MEMS的发展史和制造技术,对MEMS的应用领域作了阐述.
【机 构】
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济南职业学院电子工程系
【出 处】
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济南职业学院学报
【发表日期】
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2007年1期
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