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新发展起来的低能团簇束流淀积技术（ＬＥＣＢＤ）由于其尺寸可控，以及分布均一而引起人们的关注。利用该技术已制备了高质量的Ｓｂ，Ｂｉ薄膜，并发现了许多新奇的现象［１］。Ｔｅ及其合金膜已在记忆开关元件等光电器件中得到大量的应用，并有很强的各向异性特性［２］...
Te团簇膜及其退火效应
【摘 要】
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新发展起来的低能团簇束流淀积技术（ＬＥＣＢＤ）由于其尺寸可控，以及分布均一而引起人们的关注。利用该技术已制备了高质量的Ｓｂ，Ｂｉ薄膜，并发现了许多新奇的现象［１］。Ｔｅ及其合金膜已在记忆开关元件等光
【机 构】
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南京大学固体微结构国家重点实验室,南京大学现代分析中心
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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1998年5期
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