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Quanta 200F场发射环境扫描电镜故障排除二例
Quanta 200F场发射环境扫描电镜故障排除二例
来源 :分析仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:arlunfly
【摘 要】
:
本文主要介绍FEI公司的Qunta200F场发射扫描电子显微镜故障检查和排除方法,以及电镜日常维护的一些体会,以供参考。
【作 者】
:
夏晓飞
张辰
张雪松
许波
【机 构】
:
北京自然博物馆
【出 处】
:
分析仪器
【发表日期】
:
2014年3期
【关键词】
:
扫描电镜
维护
修理
ESEMmaintenancerepair
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本文主要介绍FEI公司的Qunta200F场发射扫描电子显微镜故障检查和排除方法,以及电镜日常维护的一些体会,以供参考。
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