论文部分内容阅读
分析了GaN-MOCVD设备中MO源注入摩尔流量控制的基本原理,给出了决定MO源注入摩尔流量的三个重要条件,然后针对于Ga N-MOCVD中5种常用的金属有机源,根据工艺生长的需要,分别给出了MO源注入摩尔流量精确控制的解决方案。
GaN-MOCVD设备MO源注入摩尔流量的精确控制
【摘 要】
：
分析了GaN-MOCVD设备中MO源注入摩尔流量控制的基本原理,给出了决定MO源注入摩尔流量的三个重要条件,然后针对于Ga N-MOCVD中5种常用的金属有机源,根据工艺生长的需要,分别给
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十八研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2015年06期
其他文献
长沙市育英学校的张颢严就是爱鼓捣,不仅小时候喜欢鼓捣各种东西,还将鼓捣作为了自己的爱好,现在只要看到新鲜的玩意就要鼓捣一番。这不,说起张颢严,大家都知道他是个不折不
我是一个“书虫”，课余时间基本上用来看书，尤其喜欢科普杂志和书籍。 我发现看书的时候，翻开的书页被风一吹，一下子就被翻乱了，而且有时候书会自动合上，我们又得重新翻页，很不方便！如果是新书尤其是很厚的新书，书页就这样硬生生地折过去，损伤比较大，我会觉得心疼。 因此，我想发明一种可以固定书页的书夹，方便人们阅读。 通过查阅资料、不断研究和改进，我做出了一个简单实用的书夹，并在镇里举行的创新大赛上
没有拿点燃的烟和香，手指怎么会突然冒烟呢？快来瞧瞧。 实验工具 火柴、一个空火柴盒、一个盘子 实验过程 1.将空火柴盒两侧的砂纸撕下来，放在盘子里，注意要把有砂粒的一面朝下。 2.擦燃火柴，然后点燃砂纸。砂纸燃烧完后，我们可以看到盘子里留有红褐色的灰烬。 3.用大拇指和食指蘸上一点红褐色的灰烬，然后摩擦指尖，指尖瞬间冒出了缕缕白烟。 实验中的科学 火柴盒两侧的砂纸中含有一种在低温下