薄膜晶体管-液晶显示行业(TFT-LCD)高精细产品需求越来越多,尤其当8.5代及以上大世代线生产手机等小尺寸产品时,彩膜曝光机的曝光均一性及叠层(Overlay)精度难以保证的问题突出,影响大世代线高精细产品的开发及生产.通过对彩膜曝光机自动补偿功能的研究,发现使用曝光机的间距(Gap)自动补偿,将差值自动补正到每个区域(Shot)中,使每个区域曝光间距更接近实际间距,使区域间间距差异变小,可以保证曝光均一性;另外,通过使用曝光机的新型光路自动补偿系统,根据每枚基板整体形变和黑矩阵(BM)工艺的区域形变
针对当前基于卡尔曼滤波的惯导系统误差阻尼技术依赖对地速度问题,提出一种基于自适应延迟状态滤波的惯导系统水平阻尼方法.该方法通过引入延迟状态的方式,使量测方程中不包含对地速度,并结合量测噪声自适应理论和延迟状态滤波理论来增进可靠性,适用于仅能获取对水速度条件下的船载惯导系统误差阻尼进程.仿真实验结果表明,水速对惯导水平阻尼的影响降低了90％以上.提出的方法能够利用对水速度实现系统误差的有效阻尼.
为了应对未来复杂战场环境中对定位、导航和授时(Positioning,Navigation and Timing,PNT)的需求,构建更加可靠的PNT能力,我国正在大力推进建设以第三代北斗全球卫星导航系统为核心的国家综合PNT体系,其中水下PNT体系是其重要组成部分.由于水下无法接收到卫星信号,这就要求尽可能地使用更高精度的惯性导航系统(Inertial Navigation System,INS),而原子陀螺具有极高的理论精度,为构建极高精度的INS提供了可能.从水下PNT体系建设需求出发,综述了原子陀