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介绍了空气非接触搬运技术的优越性、发展现状及其在半导体器件和平板显示制造业中的应用,阐述了空气悬浮和吸浮式非接触技术的原理,讨论了空气非接触搬运技术中存在的关键问题及解决方案,分析了该技术的发展前景。
半导体及平板显示制造业中的空气非接触搬运技术
【摘 要】
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介绍了空气非接触搬运技术的优越性、发展现状及其在半导体器件和平板显示制造业中的应用,阐述了空气悬浮和吸浮式非接触技术的原理,讨论了空气非接触搬运技术中存在的关键问
【机 构】
：
北京理工大学自动化学院,空军95949部队
【出 处】
：
液晶与显示
【发表日期】
：
2009年3期
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