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采用二维滞止流模型，讨论了工业洁净室内不同送风速度下，气溶胶粒子分别受重力和电场力作用及二者联合作用时在工作台表面或晶片上的沉积特征。通过与相关文献提供的实验数据的对比，确认了这种预报超细粒子沉积行为的方法。
洁净房间内亚微米粒子的沉积行为
【摘 要】
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采用二维滞止流模型，讨论了工业洁净室内不同送风速度下，气溶胶粒子分别受重力和电场力作用及二者联合作用时在工作台表面或晶片上的沉积特征。通过与相关文献提供的实验数据的
【机 构】
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西安建筑科技大学,中国科学院大气物理研究所
【出 处】
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应用力学学报
【发表日期】
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2000年4期
【基金项目】
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陕西省自然科学基金!(98D01),,大气边界层物理与大气化学国家重点实验室开放基金
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