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期刊论文
单次扫描技术确定金属薄膜的厚度和介电常数
单次扫描技术确定金属薄膜的厚度和介电常数
来源 :江西师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:lz147852369
【摘 要】
:
该文提出了一种改进的衰减全反射结构,并用单个激光光束同时激发了表面等离子波和修正的长程表面等离子波,根据反射率曲线中这两个等离子波的吸收峰,可直接确定结构中金属薄
【作 者】
:
曹庄琪
沈启舜
丁渊
桑明煌
袁文
肖平平
徐红萍
【机 构】
:
上海交通大学,江西师范大学
【出 处】
:
江西师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2003年3期
【关键词】
:
金属薄膜
厚度
介电常数
单次扫描技术
表面等离子波
衰减全反射结构
测量原理
surface plasmon waveattenuated total ref
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该文提出了一种改进的衰减全反射结构,并用单个激光光束同时激发了表面等离子波和修正的长程表面等离子波,根据反射率曲线中这两个等离子波的吸收峰,可直接确定结构中金属薄膜的厚度和介电常数.
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