面向IC制造的轨道导引车系统

来源 :机器人技术与应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huyanlongbad
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
介绍面向IC制造的轨道导引车系统,综述该系统的发展历史及国内外的研究成果,分析轨道导引车的组成结构和工作原理,并对轨道设计技术、连续给电技术、定位技术、死锁避免技术和派遣技术五个关键技术进行探讨。
其他文献
广州市增城区石滩镇中心卫生院是全国群众满意的乡镇卫生院、全国百佳乡镇卫生院、全国“优质服务基层行”活动推荐的标准卫生院。作为一家基层医疗机构,在这场新冠肺炎疫情
目的观察雌二醇片/雌二醇地屈孕酮片在激素替代周期冻融胚胎移植(FE T)中的应用效果。方法2015年10月至2018年10月该院生殖中心行激素替代周期法进行子宫内膜准备的FET患者29