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一、概述电容式薄膜真空计是根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的,其主要由电容式薄膜规(又称电容式绝压变送器)和测量仪器两部分组成,其原理如图1所示.以下将主要介绍国内电容式薄膜规(以下简称薄膜规)的发展现状.
国内电容薄膜式压力变送器发展现状
【摘 要】
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一、概述电容式薄膜真空计是根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的,其主要由电容式薄膜规(又称电容式绝压变送器)和测量仪器两部分组成,其原理如图1
【机 构】
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上海振太仪表有限公司200333
【出 处】
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上海计量测试
【发表日期】
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2002年1期
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