【摘 要】
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介绍了一种新型的基于非对称结构的光热微型驱动器.驱动器由两个宽细不同的薄悬臂组成.当红外激光照射在悬臂上时,宽窄悬臂的比表面积不同,导致其温度升高和伸长量不同,从而
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划);
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介绍了一种新型的基于非对称结构的光热微型驱动器.驱动器由两个宽细不同的薄悬臂组成.当红外激光照射在悬臂上时,宽窄悬臂的比表面积不同,导致其温度升高和伸长量不同,从而使驱动器产生偏转.建立了驱动器的热力学模型,并给出了偏转量的计算公式.使用准分子激光加工系统制作了一个长750靘的微驱动器样机,红外激光(998nm)作为驱动源,利用自制的控制监控系统进行了可行性试验,观察并测量了驱动器偏转量与红外激光功率的关系.结果表明,本驱动器在16mW的红外激光的驱动下,即可产生25.8靘的偏转量.利用光热膨胀的方法实现的驱动器制作简单,位移输出可调,无电磁干扰,易于集成,并可以实现远程控制,在微纳技术和MEMS领域具有广阔的应用前景.
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