【摘 要】
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本文研究了TFT-LCD显示器制造工艺过程中边角Zara Particle不良产生机理及其改善措施.通过拆屏后扫描电子显微镜(SEM)观察分析和实验模拟,发现此种不良为边角附近柱状隔垫物(
【机 构】
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合肥京东方光电科技有限公司,合肥,230011
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本文研究了TFT-LCD显示器制造工艺过程中边角Zara Particle不良产生机理及其改善措施.通过拆屏后扫描电子显微镜(SEM)观察分析和实验模拟,发现此种不良为边角附近柱状隔垫物(Photo Spacer,PS)受外力挤压破损产生碎屑造成.研究发现不良主要发生在液晶盒Q-Panel厚度减薄(Slim)工序段,并且不良Panel常伴随发生厚度不均.建议通过加强减薄工艺管控以提高Panel厚度均一性和探究提升PS强度的制造工艺以及寻找新型PS制造材料的方法来降低此种不良的发生率.
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