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本文简要说明了数模混合电路工艺平台的建立过程中,单项工艺的开发和工艺集成的建立.
数模混合电路的工艺开发
【摘 要】
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本文简要说明了数模混合电路工艺平台的建立过程中,单项工艺的开发和工艺集成的建立.
【机 构】
：
信息产业部第58研究所二室
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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2002年2期
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