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为了在二维微驱动系统中实时检出移动块的存在位置,试制了一种基于MEMS工艺的微型磁性开关阵列,它作为一种位置传感器通过扫描查询方式工作.本文对该传感器的工作原理、制作工艺做了详细的描述,并给出了一些实验结果.
基于MEMS技术的微型磁性开关阵列
【摘 要】
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为了在二维微驱动系统中实时检出移动块的存在位置,试制了一种基于MEMS工艺的微型磁性开关阵列,它作为一种位置传感器通过扫描查询方式工作.本文对该传感器的工作原理、制作
【机 构】
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哈尔滨工业大学,哈尔滨市,150001;日本东京大学,东京
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2004年期
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