【摘 要】
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用化学气相沉积法在浮法玻璃上制备了复合薄膜。用台阶仪、纳米压痕和X射线衍射分别测定了薄膜厚度、弹性模量、纳米硬度和室温时薄膜的残余应力。实验结果表明：薄膜厚度为560
【机 构】
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燕山大学河北省亚稳材料制备技术与科学重点实验室,燕山大学材料科学与工程学院
【基金项目】
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河北省自然科学基金(E2004000241)资助项目
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用化学气相沉积法在浮法玻璃上制备了复合薄膜。用台阶仪、纳米压痕和X射线衍射分别测定了薄膜厚度、弹性模量、纳米硬度和室温时薄膜的残余应力。实验结果表明：薄膜厚度为560．7nm，弹性模量为48．33GPa，纳米硬度值为10．65GPa，计算得到薄膜的残余应力值为-0．19GPa。对膜厚、气体的配比、流量、玻璃板的厚度、玻璃基体的化学成分等因素对薄膜残余应力的影响进行了讨论。
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