【摘 要】
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气相色谱柱是气相色谱仪的关键部件,主要用于混合气体组分的分离。与传统气相色谱柱相比,基于微机电系统(MEMS)技术设计制作的微型气相色谱柱具有重量轻、体积小、功耗低、分
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(91323304,60876081,61172151);上海市科委项目(14DZ1105102);国家高技术研究发展“863”计划项目(2009AA04Z317);国家重点研发计划(2018YFA0208504)~~
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气相色谱柱是气相色谱仪的关键部件,主要用于混合气体组分的分离。与传统气相色谱柱相比,基于微机电系统(MEMS)技术设计制作的微型气相色谱柱具有重量轻、体积小、功耗低、分离快速等优点,便于集成到便携式气相色谱仪中,适应了目前气相色谱仪微型化的发展趋势。该文综述了MEMS微型气相色谱柱的研究进展,首先阐述了MEMS微型气相色谱柱理论基础,随后对MEMS微型气相色谱柱沟道布局及柱内结构、固定相支撑层及固定相制备等方面进行了综述,最后对其发展趋势进行了展望。
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