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半导体厂房净化洁净空调系统是电子厂房建设的重要组成部分,厂房各类生产工艺的正常运行都依赖于一个高品质的洁净环境.本文以现已完成并运行良好的半导体电子厂房的净化空调系统相关设计方案为例,结合笔者近几年洁净室净化空调系统设计经验,并参照电子工业洁净厂房设计规范,就洁净室设计要求及设计优化等方面进行阐述总结,供今后半导体行业暖通设计提供参考.