【摘 要】
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采用坩埚下降法,生长了直径为5cm的铌酸锂晶体。探讨了晶体生长工艺条件,测试了晶体的透过光谱。所得晶体呈浅茶色,分析认为主要是氧空位缺陷所致。铌酸锂晶体通常用作声表面
【机 构】
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温州大学化学与材料学院,温州大学化学与材料学院,中国科学院上海硅酸盐研究所,中国科学院上海硅酸盐研究所,中国科学院上海硅酸盐研究所,德清华莹电子有限公司,德清华莹电子有限公司 浙江温州325035,浙
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采用坩埚下降法,生长了直径为5cm的铌酸锂晶体。探讨了晶体生长工艺条件,测试了晶体的透过光谱。所得晶体呈浅茶色,分析认为主要是氧空位缺陷所致。铌酸锂晶体通常用作声表面波(surface acoustic wave,SAW)器件的基片,氧空位缺陷可增加基片的电导率,减少器件制造过程中晶片开裂,有利于提高SAW器件成品率。
Using a crucible drop method, a lithium niobate crystal having a diameter of 5 cm was grown. The conditions of crystal growth were discussed, and the transmission spectrum of the crystal was tested. The resulting crystals were light brown, the analysis is mainly due to oxygen vacancy defects. Lithium niobate crystals are commonly used as substrates for surface acoustic wave (SAW) devices. Oxygen vacancy defects increase substrate conductivity, reduce wafer cracking during device fabrication, and improve SAW device yield.
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