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溶胶—凝胶法在碳化硅表面浸涂氧化铝薄膜的研究
溶胶—凝胶法在碳化硅表面浸涂氧化铝薄膜的研究
来源 :硅酸盐通报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chrdi_xjj
【摘 要】
:
研究了以异丙醇为主要原料,异丙醇为溶剂,添加乙酸乙酯作为螯合剂,利用溶胶-凝胶法在碳化硅表面浸涂厚约0.5μm的Al2O3多晶膜。用XRD,IR,SEM,TG-DTA等测试手段详细研究了涂膜在加热过
【作 者】
:
张庆勇
王浩
【机 构】
:
武汉理工大学陶瓷研究所,武汉理工大学材料学院
【出 处】
:
硅酸盐通报
【发表日期】
:
2002年2期
【关键词】
:
表面浸涂
氧化铝薄膜
异丙醇
原料
异丙醇
熔剂
乙酰乙酸乙酯
螯合剂
溶胶-凝胶法
AL2O3薄膜
碳化硅
solgel methodAl2O3 filmSi
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研究了以异丙醇为主要原料,异丙醇为溶剂,添加乙酸乙酯作为螯合剂,利用溶胶-凝胶法在碳化硅表面浸涂厚约0.5μm的Al2O3多晶膜。用XRD,IR,SEM,TG-DTA等测试手段详细研究了涂膜在加热过程中发生的物理-化学变化。比较了涂膜前后碳化硅材料的抗高温氧化性能。
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