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在基于激光加工各种材料过程中存在的光热作用和光化学作用的基础上，综述了激光加工过程中光化学作用的检测分析方法．对光化学作用结果的检测主要通过对激光作用后材料表面的结构、成分、微观形貌、物理化学特性等的变化进行分析；而对光化学作用过程的检测则采用具有时间分辨尺度的质谱仪或光谱仪等对激光加工过程中产生的分子碎片和带电离子的质量分布、能量分布和角度分布进行分析；根据仪器检测的结果，结合材料的化学结构等理论知识综合分析是研究激光光化学作用机理的主要方法．