【摘 要】
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采用微波等离子体化学气相沉积法在直径1～5 mm硬质合金球体上沉积了5～20μm厚的纳米金刚石膜。通过扫描电子显微镜、原子力显微镜和拉曼光谱对样品的表面形貌、膜厚均匀性和成
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采用微波等离子体化学气相沉积法在直径1～5 mm硬质合金球体上沉积了5～20μm厚的纳米金刚石膜。通过扫描电子显微镜、原子力显微镜和拉曼光谱对样品的表面形貌、膜厚均匀性和成份进行了表征。沉积膜表面呈现纳米金刚石典型＂菜花＂结构,晶粒度为10～20 nm,膜厚均匀,表面粗糙度随沉积膜厚度增加而增大。采用纳米压痕仪测试沉积膜硬度和弹性模量,沉积膜硬度接近40 GPa,弹性模量约为500 GPa。
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